진공 코팅 - 기존 크리스탈 코팅 방법
제품 설명
기존의 결정 코팅 방법은 다음과 같습니다. 큰 결정을 등면적의 중간 결정으로 분할한 다음, 여러 개의 중간 결정을 쌓고, 두 개의 인접한 중간 결정을 접착제로 접합합니다. 등면적의 작은 결정이 쌓인 여러 그룹으로 다시 나눕니다. 작은 결정을 쌓은 다음, 여러 개의 작은 결정의 주변을 연마하여 원형 단면을 가진 작은 결정을 얻습니다. 분리합니다. 작은 결정 중 하나를 가져와서 작은 결정의 원주 방향 측면에 보호 접착제를 바릅니다. 작은 결정의 앞면 및/또는 뒷면을 코팅합니다. 작은 결정의 원주 방향 측면에 있는 보호 접착제를 제거하여 최종 제품을 얻습니다.
기존 크리스탈 코팅 가공 방식은 웨이퍼의 원주 측벽을 보호해야 합니다. 소형 웨이퍼의 경우, 접착제 도포 시 상면과 하면이 오염되기 쉽고 작업도 쉽지 않습니다. 크리스탈의 앞면과 뒷면을 코팅한 후에는 보호 접착제를 씻어내야 하므로 작업 단계가 번거롭습니다.
행동 양식
크리스탈의 코팅 방법은 다음과 같습니다.
●사전 설정된 절단 윤곽선을 따라 기판의 상부 표면에서 입사하는 레이저를 사용하여 기판 내부에서 변형된 절단을 수행하여 첫 번째 중간 제품을 얻습니다.
●첫 번째 중간 생산물의 상부 표면 및/또는 하부 표면을 코팅하여 두 번째 중간 생산물을 얻는다.
●사전 설정된 절단 윤곽을 따라 레이저로 2차 중간 제품의 상부 표면을 긋고 절단한 후, 웨이퍼를 분할하여 대상 제품과 남은 재료를 분리합니다.
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